高科技生產(chǎn)中的靜電控制
阿諾爾特．斯坦默, 管偉 博士
2003年北京靜電培訓(xùn)
專題二：用於半導(dǎo)體及平面顯示器生產(chǎn)之離子化和標(biāo)準(zhǔn)
概論
靜電問題－污染及靜電放電
為什麼選用電離為控制靜電之方案？
生產(chǎn)環(huán)境和機(jī)臺(tái)內(nèi)部電離化
空氣離子
核元素及X光電離
尖端電離
雙極性空氣電離和絕緣體帶電
商用電離器
交流型框架及棒子
穩(wěn)定直流型
脈衝直流型
放電時(shí)間的比較
電離產(chǎn)品可用性
選擇電離器的標(biāo)準(zhǔn)
電離器的性能測(cè)試
電離標(biāo)準(zhǔn)
帶電平面監(jiān)視儀
電離器效能測(cè)試
生產(chǎn)環(huán)境機(jī)臺(tái)內(nèi)部之電離化
離子發(fā)射器
300毫米晶片廠內(nèi)天花板式電離器
無塵室電離化
微型環(huán)境
在上載及下卸站之電離棒
濕法制程機(jī)臺(tái)中的電離棒
機(jī)臺(tái)上壓縮氣體性電離
高速甩幹機(jī)中控制電荷
四點(diǎn)式電離棒
光罩存放器之出入口
在上載站的電離
扇型電離器在取放處理機(jī)
圓片廠電離器的安裝
在平面顯示器中的靜電控制問題
靜電來源：摩擦玻離片
靜電來源：滾動(dòng)壓輾著的膠片
靜電來源：架臺(tái)上的產(chǎn)品
在微型環(huán)境和機(jī)臺(tái)中的電離化
玻璃板轉(zhuǎn)送器內(nèi)的電離棒
典型的平面顯示器生產(chǎn)設(shè)備中電離器之設(shè)定
採用四點(diǎn)式電離棒中和玻離板
無塵室電離化
硬碟驅(qū)動(dòng)器組裝線的電離化工作臺(tái)
硬碟驅(qū)動(dòng)器組裝線的電離化工作站
靜電控制-振動(dòng)漏斗中的材料
靜電控制-塑封之電離化
靜電控制-藥品的傳送
靜電吸引-導(dǎo)致稱重誤差
標(biāo)準(zhǔn)及技術(shù)指標(biāo)
美國國家標(biāo)準(zhǔn)局靜電放電標(biāo)準(zhǔn) ANSI ESD S20.20
S20.20 絕緣體及電離器
S20.20 方案之要求
2003年半導(dǎo)體國際科技指標(biāo)
2003 國際技術(shù)指標(biāo)～半導(dǎo)體生產(chǎn)
技術(shù)上要求-靜電
結(jié)論
